টাইটানিয়াম স্পুটারিং টার্গেট

পণ্য ওভারভিউ

 

টাইটানিয়াম স্পাটারিং টার্গেট হল উচ্চ-বিশুদ্ধতা ব্যবহারযোগ্য উপকরণ যা ভৌত বাষ্প জমা (PVD) সিস্টেমে ব্যবহার করা হয় পাতলা টাইটানিয়াম বা টাইটানিয়াম-যৌগিক ফিল্মগুলিকে সাবস্ট্রেটে জমা করতে। ইউনিফর্ম স্পুটারিং রেট এবং ন্যূনতম ত্রুটি তৈরির জন্য প্রকৌশলী, আমাদের লক্ষ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর, অপটিক্যাল এবং আলংকারিক আবরণ লাইন জুড়ে উচ্চ-পাওয়ার ইমপালস ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং (HIPIMS) এবং DC/RF ম্যাগনেট্রন সেটআপ সমর্থন করে৷

 
 
প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ

 

প্যারামিটার

স্পেসিফিকেশন পরিসীমা

উপাদান বিশুদ্ধতা

99.9% (3N) থেকে 99.999% (5N)

স্ট্যান্ডার্ড গ্রেড

ASTM B348 গ্রেড 1 / গ্রেড 2 (CP Ti), টাইটানিয়াম অ্যালোয় (যেমন, TiAl, TiSi)

ঘনত্ব

>= 4.51 g/cm3 (>99.5% তাত্ত্বিক ঘনত্ব, আর্কিমিডিসের নীতির মাধ্যমে পরিমাপ করা হয়)

গড় শস্য আকার

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

মাত্রা (প্ল্যানার)

দৈর্ঘ্য 3000 মিমি পর্যন্ত, প্রস্থ 800 মিমি পর্যন্ত, বেধ 3-25 মিমি

মাত্রা (ঘূর্ণনযোগ্য)

বাইরের ব্যাস 400 মিমি পর্যন্ত, দৈর্ঘ্য 4000 মিমি পর্যন্ত

ব্যাকিং প্লেট

OFHC কপার (C10200 / C11000) বা অ্যালুমিনিয়াম (6061)

বন্ধন প্রযুক্তি

ইন্ডিয়াম বন্ডিং, ইলাস্টোমার বন্ডিং বা ডিফিউশন বন্ডিং (অকার্যকর হার <1%)

 

মূল বৈশিষ্ট্য

সূক্ষ্ম মাইক্রোস্ট্রাকচার

নিয়ন্ত্রিত থার্মো-যান্ত্রিক প্রক্রিয়াকরণ 100 um এর নিচে গড় শস্যের আকার দেয়, অভিন্ন ক্ষয় প্রোফাইল নিশ্চিত করে এবং অগ্রাধিকারমূলক স্পুটারিং প্রতিরোধ করে।

গ্যাস বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ

ভ্যাকুয়াম ইন্ডাকশন মেল্টিং (VIM) এবং ইলেক্ট্রন বিম মেল্টিং (EBM) প্রক্রিয়াগুলি ইন্টারস্টিশিয়াল গ্যাসের অমেধ্য (O, N, H, C) কঠোরভাবে কমিয়ে রাখে।

উচ্চ তাপ পরিবাহিতা বন্ধন

OFHC কপার ব্যাকিং প্লেটের সাথে ডিফিউশন বা ইন্ডিয়াম বন্ডিং উচ্চ-ঘনত্বের প্লাজমা স্রাবের অধীনে টার্গেট ওয়ার্পিং এবং অকাল ক্র্যাকিং প্রতিরোধ করে।

লো পার্টিকেল জেনারেশন

উচ্চ ঘনত্ব এবং অভ্যন্তরীণ মাইক্রো{0}}শূন্যতার অনুপস্থিতি দীর্ঘ আবরণ চলাকালীন আর্কিং এবং নডিউল গঠনকে দমন করে।

 

অ্যাপ্লিকেশন
 

সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স

 

IC বানাতে বাধা স্তর, যোগাযোগ স্তর, এবং আন্তঃসংযোগ বীজ স্তর জমা।

ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে (OLED/LCD)

 

পরিবাহী এবং পিক্সেল-ড্রাইভিং পাতলা-ফিল্ম ট্রানজিস্টর (TFT) স্তরগুলির গঠন।

অপটিক্যাল আবরণ

 

অ্যান্টি-প্রতিফলিত (AR) আবরণ, ফিল্টার স্তর, এবং আর্কিটেকচারাল নিম্ন-ই গ্লাস উত্পাদন।

পরিধান-প্রতিরোধী এবং আলংকারিক শক্ত আবরণ

কাটার সরঞ্জাম, স্বয়ংচালিত উপাদান এবং স্যানিটারি হার্ডওয়্যারের উপর TiN, TiCN এবং TiAlN জমা।

 

 

কাস্টমাইজেশন এবং উত্পাদন

উত্পাদন রুট:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->বন্ধন.


কাস্টম ক্ষমতা:কাস্টম জ্যামিতি (আয়তক্ষেত্রাকার, বৃত্তাকার, খণ্ডিত, ঘূর্ণনযোগ্য), কাস্টমাইজড ব্যাকিং প্লেট কুলিং চ্যানেল ডিজাইন, এবং নির্দিষ্ট শস্য অভিযোজন প্রয়োজনীয়তা।


ইন-হাউস মেশিনিং:CNC মিলিং এবং টার্নিং +/- 0.1 মিমি এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra 0.4 um এর মধ্যে মাত্রিক সহনশীলতা অর্জন করে।

Grade 2 Titanium Plate

 

মান নিয়ন্ত্রণ এবং সার্টিফিকেশন

বিশ্লেষণাত্মক পরীক্ষা

ট্রেস উপাদান বিশ্লেষণের জন্য গ্লো ডিসচার্জ মাস স্পেকট্রোমেট্রি (GDMS); অক্সিজেন, নাইট্রোজেন এবং হাইড্রোজেন পরিমাপের জন্য LECO গ্যাস বিশ্লেষক।

কাঠামোগত পরিদর্শন

আল্ট্রাসোনিক টেস্টিং (UT) বন্ধন অখণ্ডতা যাচাই করতে এবং ইন্টারফেস শূন্যতা সনাক্ত করতে 100% বন্ডেড লক্ষ্যগুলির উপর সঞ্চালিত হয়।

ট্রেসেবিলিটি

প্রতিটি টার্গেট একটি সার্টিফিকেট অফ অ্যানালাইসিস (COA) সহ সঠিক ব্যাচের বিশুদ্ধতা, অপরিষ্কার পিপিএম ব্রেকডাউন, এবং ঘনত্ব পরীক্ষার ফলাফলের বিবরণ দেয়।

 

প্যাকেজিং এবং ডেলিভারি

 

 

প্যাকেজিং

ট্রানজিট অক্সিডেশন এবং যান্ত্রিক ক্ষতি রোধ করতে ভ্যাকুয়াম-এন্টি-স্ট্যাটিক পলিথিন ব্যাগে সিল করা, শক দিয়ে প্যাক করা-রিইনফোর্সড এক্সপোর্ট-গ্রেডের কাঠের ক্রেটের ভিতরে ফেনা শোষণ করা।

 

সীসা সময়

স্ট্যান্ডার্ড প্ল্যানার ডাইমেনশনের জন্য 2 থেকে 3 সপ্তাহ; কাস্টম আবর্তনযোগ্য বা ডিফিউশন-বন্ডেড কনফিগারেশনের জন্য 4 থেকে 6 সপ্তাহ।

 

শিপিং শর্তাবলী

FOB, CIF, বা DDP বায়ু বা সমুদ্রের মালবাহী মাধ্যমে।

 

 

 

FAQ

 

 

প্রশ্ন: অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশন বনাম আলংকারিক আবরণ জন্য কি বিশুদ্ধতা গ্রেড প্রয়োজন?

উত্তর: সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশানগুলির জন্য সাধারণত 99.995% (4N5) থেকে 99.999% (5N) বিশুদ্ধতা প্রয়োজন যাতে বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তন করা থেকে ধাতব দূষণের ট্রেস প্রতিরোধ করা যায়। আলংকারিক এবং পরিধান-প্রতিরোধী হার্ড আবরণ অ্যাপ্লিকেশনগুলি সাধারণত 99.9% (3N) থেকে 99.95% বিশুদ্ধতা, ভারসাম্য ব্যয় এবং কার্যকরী কার্যকারিতা ব্যবহার করে।

প্রশ্ন: উচ্চ-পাওয়ার স্পুটারিংয়ের সময় আপনি কীভাবে লক্ষ্য ক্র্যাকিং প্রতিরোধ করবেন?

উত্তর: একটি সূক্ষ্ম, অভিন্ন শস্যের আকার বজায় রাখার মাধ্যমে লক্ষ্য ক্র্যাকিং হ্রাস করা হয় (< 100 um), high theoretical density (>99.5%), এবং শক্তিশালী প্রসারণ-বন্ডেড বা ইন্ডিয়াম-বন্ডেড OFHC কপার ব্যাকিং প্লেটগুলি ব্যবহার করে যা দক্ষতার সাথে তাপীয় লোডগুলিকে ছড়িয়ে দেয়।

প্রশ্ন: আপনি গ্যারান্টি সর্বোচ্চ বন্ধন অকার্যকর হার কি?

উত্তর: আমরা মোট বন্ডেড সারফেস এরিয়ার 1% এর কম একটি ইন্টারফেসিয়াল বন্ডিং শূন্যতার গ্যারান্টি দিই, চালানের আগে অতিস্বনক C{1}}স্ক্যান ইমেজিংয়ের মাধ্যমে যাচাই করা হয়, স্থানীয়ভাবে অতিরিক্ত গরম হওয়া এবং টার্গেট ডিলামিনেশন প্রতিরোধ করে।

প্রশ্ন: আপনি কি বড় আবরণ চেম্বারের জন্য বিভক্ত লক্ষ্যগুলি তৈরি করতে পারেন?

উঃ হ্যাঁ। আমরা স্থাপত্য গ্লাস এবং ডিসপ্লে আবরণ লাইনে বিরামহীন ইনস্টলেশনের জন্য ডিজাইন করা মডুলার, ইন্টারলকিং সেগমেন্টে বড়-এরিয়া প্ল্যানার এবং ঘূর্ণনযোগ্য লক্ষ্যগুলি তৈরি করি।

প্রশ্ন: একটি কাস্টম লক্ষ্য উদ্ধৃতি অনুরোধ করতে কি তথ্য প্রয়োজন?

উত্তর: অনুগ্রহ করে আপনার PVD সিস্টেম মডেল প্রদান করুন যদি জানা থাকে, লক্ষ্য জ্যামিতি (প্ল্যানার বা ঘূর্ণনযোগ্য), সঠিক মাত্রা (দৈর্ঘ্য, প্রস্থ, বেধ, বা বাইরের ব্যাস), উপাদানের বিশুদ্ধতা গ্রেড, ব্যাকিং প্লেট উপাদানের প্রয়োজনীয়তা এবং আনুমানিক বার্ষিক খরচের পরিমাণ।

প্রশ্ন: চালানের আগে লক্ষ্যগুলি কীভাবে পরিষ্কার এবং প্যাক করা হয়?

উত্তর: মেশিনের অবশিষ্টাংশ অপসারণের জন্য আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং করা হয় -বিশুদ্ধ দ্রাবকগুলিতে, ভ্যাকুয়াম-ডেসিক্যান্ট দিয়ে ক্লিনরুম পরিবেশে সিল করা হয় এবং নাইট্রোজেন-পরিষ্কার করা বা ভারী-ডিউটি ​​কাঠের পাত্রে প্যাক করা হয়।

 

modular-1
একটি উদ্ধৃতি অনুরোধ

আপনার নির্দিষ্ট ডিপোজিশন সিস্টেমের জন্য একটি প্রযুক্তিগত প্রস্তাব এবং উদ্ধৃতি পেতে, অনুগ্রহ করে আপনার PVD সিস্টেম মডেল, প্রয়োজনীয় বিশুদ্ধতা, মাত্রা এবং আনুমানিক পরিমাণ উল্লেখ করুন। আমাদের প্রকৌশল দল 24 ব্যবসায়িক ঘন্টার মধ্যে উপাদানের প্রাপ্যতা এবং বিতরণের সময়সূচী সহ সাড়া দেয়।

আমরা পেশাদার টাইটানিয়াম স্পাটারিং লক্ষ্যমাত্রা প্রস্তুতকারক এবং চীনে সরবরাহকারী, উচ্চ মানের কাস্টমাইজড পরিষেবা প্রদানে বিশেষ। এখানে স্টক ডিসকাউন্ট টাইটানিয়াম sputtering লক্ষ্য কিনতে নির্দ্বিধায় এবং আমাদের কারখানা থেকে বিনামূল্যে নমুনা পেতে দয়া করে. মূল্য পরামর্শের জন্য, আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন.